氩气 (Ar)：氩气通常在半导体制造工艺中用作保护气体。 它提供了稳定和惰性的环境，以防止等离子蚀刻和溅射等工艺过程中的氧化和污染。 氦气 (He)：氦气广泛用于冷却半导体器件和设备。 其低沸点和高导热性使其成为低温应用中维持低温的理想冷却剂。 氖气 (Ne)：氖气在充电时能够发出明亮的橙红色光，因此被用于半导体工业。 它用于各种应用的霓虹灯和指示器，包括显示面板和标牌。 氪 (Kr)：氪用于生产半导体器件，例如激光器和光电二极管。 它还用作某些类型的气体放电灯的填充气体，这些气体放电灯用于 LCD 显示器的背光。 氙气 (Xe)：氙气因其在照明应用中的独特性能而被用于半导体行业。 它通常用于专用灯，例如用于光刻和紫外线固化工艺的闪光灯。